|
The discharges used for the processes will be investigated by optical emission spectroscopy, mass spectrometry and Langmuir probe. The deposits will be characterized by TEM and SEM, AFM, FTIR and Raman spectroscopy, RBS and ERDA, XPS, XRD.
|
|
V projektu bude studován růst uhlíkových nanotrubek (CNT) a nanovláken (CNF) metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) a budou porovnány různé výboje (mikrovlnný, v.f. CCP a ICP, modifikovaný systém magnetronového naprašování). Cílem je také vyrobit CNT při nízké teplotě, v atmosférickém výboji a růst jednostěnných CNT. Dále bude prováděna syntéza uhlíkových nanostruktur (strukturovaných polymerů, CNT a fullerenů) v pulzním v.f. doutnavém výboji. Bude studován vliv trvání pulzu na depozice. Mikro- a nanokrystalický diamant bude deponován metodou PECVD a jeho vlastnosti budou kontrolovány změnou velikosti krystalitů a dopováním dalšími elementy, např. bórem. Nanokompozitní vrstvy obsahující CNT a CNF budou připravovány metodou PECVD. Vrstvy budou studovány z hlediska mech., optických a elektrických vlastností. Uhlíkové nanostruktury budou připravovány se zřetelem na funkční zařízení (emitory, standardy pro odhadnutí tuposti AFM hrotu) a pro modifikaci materiálových vlastností povrchu (optických, mechanických a elektromagnetických). Výboje použité pro zmíněné procesy budou studovány optickou emisní spektroskopií, hmotovou a iontovou spektroskopií a Langmuirovou sondou. Připravené materiály budou charakterizovány pomocí TEM a SEM, AFM, FTIR a Ramanovskou spektroskopií, RBS a ERDA, XPS, XRD. Bude vytvořena skupina spolupracujících českých laboratoří pro pokročilou charakterizaci materiálů.
|