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Dem Gas wird mit Hochfrequenz-, mit Mikrowellen oder elektrisch Energie zugeführt, sodass eine Plasmaflamme entsteht. Sie spaltet das Beschichtungsmaterial in kleinste Partikel auf und beschleunigt diese.
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On injecte ensuite un gaz de procédé dans la chambre (par exemple, de l'argon). L'application d'une énergie électrique, haute fréquence ou hyperfréquence, au gaz crée un jet de plasma. Celui-ci décompose le matériau de revêtement en infimes particules qui sont ensuite accélérées. Les particules à haute énergie entrent en collision avec les pièces enfermées dans la chambre et forment une couche homogène. Les résidus volatiles du plasma sont éliminés à l'aide de la pompe à vide et, si nécessaire, sont neutralisés par un épurateur de gaz d'échappement.
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Un gas de proceso —por ejemplo, el argón— se añade posteriormente a la cámara. Al gas se le aplica energía eléctrica, de microondas o de alta frecuencia y esto produce una llama de plasma. Esta llama separa el material de recubrimiento en partículas diminutas, que a continuación se aceleran. Las partículas impactan sobre los objetos de la cámara con gran energía, formándose así una capa homogénea. Los productos volátiles derivados del plasma se eliminan con una bomba de vacío y, si es necesario, también se neutralizan con un lavador de gases.
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Nella camera viene quindi aggiunto un gas di processo, ad esempio l'Argon. Viene applicata al gas energia ad alta frequenza, microonde o elettrica che accende una fiamma al plasma. Questa divide il materiale di rivestimento in particelle minuscole che vengono quindi accelerate. Le particelle impattano sui componenti nella camera con un'elevata energia, formando uno strato uniforme. I sottoprodotti volatili del plasma vengono rimossi dalla pompa per vuoto e, se necessario, possono essere neutralizzati da uno scrubber di scarico.
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De seguida, o gás de processo, por exemplo árgon, é introduzido na câmara. Ao gás são aplicadas altas frequências, micro-ondas ou energia elétrica, originando uma chama de plasma. Este processo divide o material de revestimento em partículas minúsculas que são, depois, aceleradas. As partículas colidem com elevada energia com os itens na câmara, formando uma camada homogénea. Os produtos derivados voláteis do plasma são extraídos pela bomba de vácuo e, se necessário, podem ser neutralizados por um depurador de escape.
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A process gas – for example Argon – is then added to the chamber. High-frequency, microwave or electrical energy is applied to the gas, igniting a plasma flame. This splits the coating material into minute particles, which are then accelerated. The particles impact the items in the chamber with high energy, forming an even layer. Volatile by-products of the plasma are removed by the vacuum pump, and if necessary may be neutralized by an exhaust scrubber.
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A process gas – for example Argon – is then added to the chamber. High-frequency, microwave or electrical energy is applied to the gas, igniting a plasma flame. This splits the coating material into minute particles, which are then accelerated. The particles impact the items in the chamber with high energy, forming an even layer. Volatile by-products of the plasma are removed by the vacuum pump, and if necessary may be neutralized by an exhaust scrubber.
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Utána folyamatgázt – például argont – juttatnak a kamrába. Ezt követően magas frekvenciájú mikrohullámú vagy elektromos energiát bocsátanak a gázra, ami plazmalángot idéz elő. Ez felhasítja a bevonóanyagot apró részecskékre, amelyeket aztán felgyorsítanak. A részecskék nagy energiával beleütköznek az elemekbe, amelyeken egyenletes réteget alkotnak. A plazma illékony melléktermékeit a vákuumszivattyúval eltávolítják, és szükség esetén gáztisztító berendezéssel semlegesítik.
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Deretter tilsettes en prosesseringsgass – for eksempel argon – til kammeret. Gassen utsettes så for høyfrekvens, mikrobølger eller elektrisk energi, som tenner en plasmaflamme. Den splitter coating-materialet i små partikler, som deretter akselereres. Partiklene påvirker elementene i kammeret med høy energi og dannes et jevnt lag. Plasmaens flyktige biprodukter fjernes av vakuumpumpen og kan ved behov nøytraliseres av en gassavskiller.
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Następnie do komory doprowadzany jest gaz procesowy, np. argon. Gaz jest następnie poddawany działaniu energii o wysokiej częstotliwości, mikrofalom lub energii elektrycznej, co wywołuje płomień plazmowy. Powoduje to rozdzielenie materiału powlekanego na drobne cząsteczki, które są następnie przyspieszane. Te cząsteczki uderzają z dużą energią w przedmioty znajdujące się w komorze, tworząc równą powłokę. Lotne produkty uboczne plazmy są usuwane przez pompę próżniową, a jeśli to konieczne można jest zneutralizować za pomocą skrubera.
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Apoi, un gaz de proces - de exemplu, argon - este introdus în cameră. La nivelul gazului se aplică o frecvență înaltă, microunde sau energie electrică, aprinzând o flacără de plasmă. Aceasta divizează materialul de acoperire în particule minuscule, care apoi sunt accelerate. Particulele lovesc articolele din cameră cu energie ridicată, formând un strat uniform. Produsele secundare volatile ale plasmei sunt îndepărtate de pompa de vid și, dacă este necesar, pot fi neutralizate cu ajutorul epuratorului de gaze de evacuare.
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Затем в камеру подается рабочий газ, например аргон. В результате воздействия на газ высокочастотной, микроволновой или электрической энергии плазменный факел воспламеняется. Материал покрытия распадается на мельчайшие частицы, которые впоследствии ускоряются. Частицы интенсивно воздействуют на находящиеся в камере изделия, образуя на них тонкий слой. Летучие побочные продукты плазмы удаляются с помощью вакуумного насоса и при необходимости могут быть нейтрализованы очистителем выхлопных газов.
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On injecte ensuite un gaz de procédé dans la chambre (par exemple, de l'argon). L'application d'une énergie électrique, haute fréquence ou hyperfréquence, au gaz crée un jet de plasma. Celui-ci décompose le matériau de revêtement en infimes particules qui sont ensuite accélérées. Les particules à haute énergie entrent en collision avec les pièces enfermées dans la chambre et forment une couche homogène. Les résidus volatiles du plasma sont éliminés à l'aide de la pompe à vide et, si nécessaire, sont neutralisés par un épurateur de gaz d'échappement.
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Un gas de proceso —por ejemplo, el argón— se añade posteriormente a la cámara. Al gas se le aplica energía eléctrica, de microondas o de alta frecuencia y esto produce una llama de plasma. Esta llama separa el material de recubrimiento en partículas diminutas, que a continuación se aceleran. Las partículas impactan sobre los objetos de la cámara con gran energía, formándose así una capa homogénea. Los productos volátiles derivados del plasma se eliminan con una bomba de vacío y, si es necesario, también se neutralizan con un lavador de gases.
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A process gas – for example Argon – is then added to the chamber. High-frequency, microwave or electrical energy is applied to the gas, igniting a plasma flame. This splits the coating material into minute particles, which are then accelerated. The particles impact the items in the chamber with high energy, forming an even layer. Volatile by-products of the plasma are removed by the vacuum pump, and if necessary may be neutralized by an exhaust scrubber.
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