|
Die FHR.Line.600-V („D‘Crystl“) ist eine modular aufgebaute Durchlauf-Sputteranlage für die Beschichtung von flachen Substraten (Glas, Silizium, Polymere) für die Displaytechnologie, für Touchpanels, für die Photovoltaik, die Mikroelektronik und für Architekturglas. Die Anlage verfügt über eine Schleusenkammer und eine kombinierte Vorbehandlungs- bzw. Beschichtungskammer und ist mit einer Rohr- und einer planaren Magnetronkathode ausgestattet. Sie erlaubt die Abscheidung metallischer, nitridischer und oxidischer Schichten und kann sowohl für Grundlagenuntersuchungen als auch zur Vorfeldentwicklung, zur Beschichtung von Prototypen und für Bemusterungen verwendet werden.
|