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Ion beam techniques have been long time applied in semiconductor science due to its interesting applications in the modification (doping, cleaning, patterning…) and also in the analysis (composition, structure, impurities, interfaces…) of these materials.
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Las técnicas de haces de iones se han utilizado durante mucho tiempo en la ciencia de semiconductores debido a sus interesantes aplicaciones, tanto para la modificación (dopaje, limpieza, formación de patrones…) como para el análisis (composición, estructura, impurezas, interacaras…) de estos materiales. En particular, el carácter no destructivo de las técnicas IBA, junto con la capacidad de realizar perfiles elementales en profundidad, hacen estas herramientas ideales para una avanzada caracterización de capas semiconductoras, que requieren normalmente láminas delgadas epitaxiales de alta pureza.
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