|
Ďalším materiálovým systémom pre tranzistory typu MOS HEMT sú III-V polovodiče na báze GaAs, resp. InP. Technológia oxidov pre izoláciu hradla a inžinierstvo rozhrania oxid/polovodič predstavuje jednu z hlavných výziev nakolko priamo súvisí so stavmi rozhrania. Viaceré slubné možnosti boli študované, napr. depozícia rôznych pasivačných (AlP, InP, AlOx, Ga2O3/Gd2O3), alebo oxidových (Al2O3) vrstiev pomocou ALD. Náš výskum zahŕňa GaAs/InGaAs MOS HEMT-y s dôrazom na optimalizáciu rozhrania oxide/GaAs. Nedávno sme študovali efekty neinváznej oxidácie povrchu GaAs, t.j. plazmatickej oxidácie a mokrej oxidácie pri UV osvetlení a taktiež pasivácie GaAs povrchu pomocou AlOx vrstvy pripravenej oxidáciou in-situ Al vrstvy narastenej v procese MOCVD, viď. obr. 2. Tieto vrstvy majú vytvoriť vysoko-kvalitné rozhranie oxid/GaAs, ktoré môže slúžiť ako pasivácia alebo izolácia hradla po prekrytí high-κ materiálom.
|