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Pour ce qui est des masques à trous / laser CO2, le plus grand avantage est l'énorme vitesse de perçage des Microvias. L´inconvénient est l'ouverture de la surface en Cu, qui pour sa réalisation demande un procédé supplémentaire de photolithographie. Au vue de l´avancement technique du percage microvia, la combinaison laser UV / CO2 présente le meilleur compromis entre flexibilité et vitesse de perçage. Avec cette technique, les microvia sont réalisés en un procédé unique. Grâce au laser UV, l'ouverture de la surface de Cu est très précise. Le percage des microvias à l´aide du seul laser UV constitue la variante la plus flexible du point de vue technique. L'inconvénient, est la vitesse de perçage relativement lent.
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