screw profile – French Translation – Keybot Dictionary

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Screw profile
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SB 351 PG7
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COBRA NS screw vacuum pumps were developed by Busch for the semiconductor industry. They offer a high level of process reliability and thanks to their optimized screw profile, they achieve short evacuation times.
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Pour Bernd Moeller, directeur général de Fluor Technik System, « le composant essentiel de tout système de fluoration est la technologie de vide, car la qualité des pièces traitées dépend de la fiabilité de cette technologie ». Pour ses systèmes de fluoration, il a choisi d'utiliser exclusivement des systèmes de vide Busch, capables de fonctionner « à sec » ; autrement dit, sans liquide d'opération dans les chambres de compression. Ces systèmes incluent une pompe à vide à vis COBRA NS (fig. 2) en tant que pompe primaire ainsi qu'une pompe booster Panda montée en aval. Les pompes à vis COBRA NS ont été développées par Busch pour l'industrie des semi-conducteurs. Elles offrent un haut niveau de fiabilité des processus et, grâce à leur profil à vis optimisé, permettent des temps d'évacuation courts. Elles sont par ailleurs hermétiquement étanches, afin de garantir l'absence de toute fuite de gaz fluoré.