immersion lithography – Korean Translation – Keybot Dictionary

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Regardless of manufacturer, Gigaphoton is capable of replacing lasers ranging from early KrF models to lasers used in ArF immersion lithography, and has built a track record of delivering these to a myriad of customers and locations.
오야마, 일본; 2015 년 10 월 1 일-- 세계적인 리소그래피 광원 제조사인 기가포톤(Gigaphoton Inc.)(본사: 도치기현 오야마시, 대표이사 사장: 토마루 히토시(Hitoshi Tomaru))이 신규 사업에서 레이저 업그레이드를 수주, 제공했다고 발표했다. 기가포톤은 이를 통해 양산 라인의 기존 노광 장치와 연결된 기존 엑시머 레이저 광원을 최신 모델로 교체했다. 기가포톤은 제조사와 관계 없이 초기 KrF 모델부터 ArF 액침 리소그래피에 사용되는 레이저에 이르기까지 광범위한 레이저를 교체할 수 있으며 다수 고객과 지역에 이를 제공한 실적을 축적해 왔다.