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It can be used for fundamental studies, for example, with the help of the analysis system (VG ESCALAB 250), providing state-of-the-art surface-analysis techniques, including monochromatized X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), ultraviolet photoelectron spectroscopy (UPS), low-energy ion-scattering spectroscopy (LEISS), sputter-depth profiles and laterally resolved XPS mapping.
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Die unabhängigen Depositionskammern basieren auf einem flexiblen Design und können einfach modifiziert werden, wodurch schrittweises Schicht- und Grenzflächenwachstum unter größtmöglicher experimenteller Kontrolle ermöglicht wird: Die Kammern basieren auf UHV-Technologie. Falls nötig, können auch definierte zusätzliche Chemikalien eingebracht werden. Das System kann für Grundlagenforschung eingesetzt werden; mit dem Analysesystem VG Escalab 250 steht eine State-of-the-art Oberflächen-Analyse-System inklusive monochromatischer Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie (XPS), ultravioletter Photoelektronen-Spektroskopie (UPS), Streuung niederenergetischer Ionen (LEISS), Sputter-Tiefenprofile und ortsaufgelöster XPS-Analyse bereit.
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